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[期刊论文] 作者:有留宏明,王景义, 来源:微细加工技术 年份:1985
菲湟尔波带片是一种对衍射率大致为1的软X射线具有透射作用的新型光学元件。本文介绍用电子束曝光制作X线波带片的新方法。通过与反应离子刻蚀配合,能够制成高宽比大、分辨...
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