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[学位论文] 作者：刘厚盛,
来源：中国科学技术大学 年份：2022
硅基涂层具有很多优良的性能,如:耐腐蚀、好的力学性能和生物相容性,气体阻隔性强,热导率高,电导率可控,光学性能好等,这些性能均可通过调控涂层元素组成获得。立足于硅基涂层的组分可调控性和性能多样性,使得此种涂层可以在很多领域得以应用。简单的硅基材料如......
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