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[学位论文] 作者：付锦超,
来源：江西理工大学 年份：2021
半导体制造行业是社会信息化、数字化和智能化发展的基石。晶圆作为半导体制造的基础元件,传统大批量生产模式已无法满足大尺寸晶圆加工要求。组合设备具备高效且可重构的单晶圆加工环境,以应对晶圆在加工过程中的苛刻约束条件。但是,晶圆尺寸不断增加,加剧市场......
[期刊论文] 作者：潘春荣,付锦超,
来源：计算机集成制造系统 年份：2019
在半导体制造中,组合设备出现故障模块是晶圆质量受损的因素之一。考虑到晶圆重入加工工艺更复杂,研究了可重入双臂组合设备并行模块出现一个模块故障后的有效调度问题。建立...
[期刊论文] 作者：付锦超, 董彬, 尉海东,,
来源：科技视界 年份：2012
临沂物流闻名于世,本文从临沂市商贸物流业发展现状入手,分析了临沂物流发展的现状,优势和存在的问题,并重点从临沂的实际情况出发,提出了实现临沂市现代物流大发展的建议,以...
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