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[期刊论文] 作者：钟天晟,于舜杰,赵晓龙,丁梦璠,梁方舟,方师,张中方,侯小虎,孙海定,徐光伟,胡芹,龙世兵,
来源：光子学报 年份：2021
为了顺应光电探测器和阵列小尺寸、多功能、高密度集成的发展趋势,报告了一种基于超薄氧化镓(Ga2O3)制成的高性能日盲和X射线双功能探测器。基于金属有机化合物化学气相沉淀法,通过高温下的精细生长调控,实现了较薄厚度(70 nm)的高质量Ga2O3异质外延薄膜。得益......
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