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,Tuning Effect on the Electron Energy Distribution Function of an Inert Gas Mixture in nitrogen Indu
[期刊论文] 作者：MA Jie(马杰),PU Yi-Kang(蒲以康), 来源：中国物理快报（英文版） 年份：2003
By using a Langmuir probe, the electron energy distribution function (EEDF) is measured in inductively coupled plasma discharges in N2/Ar mixtures at 200 W rf p...
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