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[学位论文] 作者:黄逊志,, 来源:上海交通大学 年份:2015
纳米材料因其独特的性质而被广泛应用于生物医学、催化、太阳能电池、各类传感器件等诸多领域。纳米颗粒的制备更是可以追溯到十九世纪中叶。近年来,对于制备纳米颗粒和纳米...
[期刊论文] 作者:郝春晓,张文涛,王献英,黄逊志, 来源:仪器仪表用户 年份:2019
为了降低掩模台位置测量的位置误差,首先阐述了二维衍射平面光栅尺在掩模台上的布局与信号采集模块;然后运用两个二维衍射平面光栅尺建立掩模台位置测量模型;最后以双频激光...
[会议论文] 作者:闫婷婷,李永胜,黄逊志,钟晓霞, 来源:第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份:2013
Nanoparticles (NPs) such as Ag NPs, Au NPs, and bimetallic Au/Ag nanoalloy are of great interest for a range of applications in fields ranging from plasmonics to catalysis.In this work, plasma-assiste...
[期刊论文] 作者:郝春晓,张文涛,王献英,黄逊志, 来源:激光与光电子学进展 年份:2019
为实现掩模台水平向三自由度高精度的运动定位,掩模台测量系统需要建立准确的多自由度解耦测量模型。采用二维衍射平面光栅尺建立掩模台自由度位置测量系统,并主要分析平面光栅尺和读头产生的多个安装误差使测量掩模台位置存在偏差的原因。首先结合安装布局设计......
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