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[期刊论文] 作者：李思宏,侯想,罗荣煌,刘杨,钟梦洁,罗学涛,
来源：发光学报 年份：2021
为了提高氮化镓(GaN)基发光二极管(LEDs)的发光性能,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在蓝宝石衬底上沉积SiO2薄膜,经过光刻和干法刻蚀技术制备了SiO2图形化蓝宝石衬底(SiO2patterned sapphire substrate,SPSS),利用LED器件的外延生长和微纳加工技术获得了......
[期刊论文] 作者：侯想,刘熠新,钟梦洁,林赛,刘杨,罗荣煌,罗学涛,张飒,
来源：中国机械工程 年份：2021
为了缩短刻蚀时间以及提高发光二极管(LEDs)的发光性能,针对添加刻蚀辅助气体三氟甲烷(CHF3)的干法刻蚀工艺进行了研究.采用感应耦合等离子(ICP)干法刻蚀技术并通过正交试验研究了偏压功率、CHF3流量、自动压力控制蝶阀开合度(APC)对刻蚀速率和选择比的影响.试......
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