搜索筛选:
搜索耗时0.6220秒,为你在为你在102,267,441篇论文里面共找到 4 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：黄惠杰,路郭武,
来源：强激光与粒子束 年份：2000
利用大面积光刻和腐蚀等工艺，研制成功了一块用于激光直接驱动约束聚变装置的１．０６μｍ波段、口径为φ２５０ｍｍ的无规位相板。台阶几何深 度实测值与理论值的相对偏差为１．２４％，该位相板可获得边缘陡......
[会议论文] 作者：沈蓓军,王润文,路郭武,
来源：中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会 年份：1999
文章建立了考虑转子变形的微静电电机的动力学分析模型，通过这一动力学分析模型分析研究了微静电电机的动力学运转特性，对微静电电机的转子与定子的间隙以及转子定子的尺寸变化......
[期刊论文] 作者：任虹,梁培辉,路郭武,叶韧,崔自强,
来源：中国激光 年份：1995
通过线聚焦将自滤波振荡行波放大后的铜激光在ＢＢＯ晶体中信频，当基频光功率为５．４Ｗ时，倍频效率达１４．４％。用钢激光倍频光进行接触式光刻，刻线分辨率优于１．０μｍ。By line focusing, the copper las......
[会议论文] 作者：沈蓓军,王润文,路郭武,黄惠杰,杜龙龙,
来源：中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会 年份：1999
文章介绍了一种用于三维微结构元件制作的微细加工技术---激光LIGA技术中的一项重要工艺流程；准分子激光深层光刻PMMA光刻胶工艺。文章对准分子与PMMA相互作用的机理，深层光刻...
相关搜索：
