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[期刊论文] 作者：王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英,
来源：仪器仪表学报 年份：
智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。...
[期刊论文] 作者：,
来源：固体润滑 年份：1990
综述与进展表面三维形貌非接触测量的现状…………………………高 宏 薛实福 严普强1(1)聚四氟乙烯及其复合材料的转移与磨损……………………………宫德利 薛群基2(73)金属...
[期刊论文] 作者：薛实福,,
来源：北京农业科学 年份：1984
一、萄葡保护地栽培的意义及其经济效益葡萄保护地栽培在我国是一项新兴的种植业,它具有很多优点:(1)省工:冬季不需下架埋土防寒。(2)生长期长:供暖温室可整年生产;不供暖温...
[期刊论文] 作者：刘永生,薛实福,
来源：微型机与应用 年份：1993
一种以数据文件存储屏幕或菜单,在西文DOS下直接写显示缓冲区快速显示,选择不同位页面局部上色的彩色西文汉字菜单的实现方法。...
[期刊论文] 作者：薛实福,刘永生,
来源：中国机械工程 年份：1995
着重介绍原子力显微镜力传感器的要求和力传感器设计的有关问题，并提供一种用图表设计结构尺寸的方法。...
[期刊论文] 作者：薛实福,刘永生,
来源：仪表技术与传感器 年份：1996
原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力的工具。由悬臂梁与探针集成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，而固有频率是其一个主要技术参数。本文介绍了一......
[期刊论文] 作者：薛实福,刘永生,
来源：电子工业专用设备 年份：1995
原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具，由悬臂梁与探针集成件组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、......
[期刊论文] 作者：薛实福,刘永生,等,
来源：光学精密工程 年份：1995
由悬臂梁与探针集成件（Cantilever stylus）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，固有频率（resonant frequency）是悬臂梁与探针集成件的一个重要技术指标，本文介绍了对力传...
[期刊论文] 作者：高宏,薛实福,
来源：光仪技术 年份：1990
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[期刊论文] 作者：龙志峰,薛实福,
来源：光学精密工程 年份：1998
电子隧道传感器应用电子隧道原理对位移进行检测。结果简单，能耗低，它具有很高的灵敏度，并且不受尺寸限制，在微型化和集成化方面显示了良好的前景，各国科学家电子隧道传感器进行了......
[期刊论文] 作者：高宏,薛实福,
来源：光学仪器 年份：1992
提出了一种干涉相位差与检偏器方位角成线性关系的新型微分干涉显微镜,利用相移干涉技术,可定量测量样品的表面形貌及粗糙度参数,系统的垂直和横向分辨率分别为1nm和0.5μm。...
[期刊论文] 作者：高宏,薛实福,
来源：LSI制造与测试 年份：1989
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[期刊论文] 作者：高宏,薛实福,
来源：光仪技术 年份：1991
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[期刊论文] 作者：高宏,薛实福,
来源：计量学报 年份：1995
本文提出了一种测量超光滑表面轮廓的绝对测量方法。采用微分干涉显微镜直接测量表面轮廓的差分，从而无需使用标准参考反射镜，并能有效在抑制机械振动等环境干扰对测量结果的影......
[期刊论文] 作者：薛实福,李庆祥,
来源：光学精密工程 年份：1994
本文介绍一种采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）作为激光干涉条纹接收器的新型单频激光干涉仪。...
[期刊论文] 作者：薛实福,徐毓娴,
来源：光学精密工程 年份：1997
分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题，在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单昌硅悬梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次......
[期刊论文] 作者：王晓晔,薛实福,
来源：光学精密工程 年份：1998
应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并讨论了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一百分比工了可以作为力传......
[期刊论文] 作者：李庆祥,薛实福,
来源：仪器仪表学报 年份：1994
采用全息凹面光栅作为分光元件的膜厚测量仪，具有结构简单工作稳定可靠的特点。本文介绍了它的原理与特点，并对该仪器进行了实验。该仪器的测量精度对于较薄膜厚为±２ｎｍ，一般膜......
[期刊论文] 作者：薛实福,李庆祥,
来源：LSI制造与测试 年份：1996
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[期刊论文] 作者：薛实福,李庆祥,
来源：LSI制造与测试 年份：1996
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