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[学位论文] 作者：范咏志,
来源：武汉工程大学 年份：2017
本文采用热丝化学气相沉积法，研究了氮气、氩气、氦气以及氩氮混合气体对纳米金刚石(Nano-crystalline Diamond,NCD)薄膜的生长速率及膜层质量影响。运用发射光谱对NCD沉积过...
[期刊论文] 作者：代凯,王传新,范咏志,易成,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2017
提高生长速率是降低金刚石薄膜应用成本的关键因素之一,目前研究的提高速率的方法中以偏压电子增强为主,而该方法不适宜表面复杂的刀具涂层。本文通过在无偏压热丝化学气相沉...
[期刊论文] 作者：王传新,熊江,易成,范咏志,王子行,,
来源：武汉工程大学学报 年份：2015
采用热丝化学气相沉积法在氩/丙酮/氢气体系中研究衬底温度对纳米金刚石膜生长的影响,使用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪对金刚石膜进行检测.结果表明衬底温度对...
[期刊论文] 作者：范咏志,王传新,易成,代凯,马志斌,王升高,吴超,,
来源：强激光与粒子束 年份：2015
发射光谱法是对等离子进行在线诊断的常用方法。在丙酮／H2、丙酮／H2／He和丙酮／H2／Ar三种体系中，对热丝化学气相沉积金刚石薄膜过程中的等离子体进行了在线测量。研究了不同体积分数......
[期刊论文] 作者：范咏志,王传新,易成,代凯,许青波,马志斌,吴超,,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2017
采用热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜,运用惰性示踪气体发射光谱法对等离子基团进行分析。实验所采用的惰性示踪气体为氩气。热丝CVD金刚石薄膜的表面形貌和断面形貌通过SE...
[期刊论文] 作者：易成,王传新,范咏志,代凯,马志斌,王升高,满卫东,吴超,,
来源：光谱学与光谱分析 年份：2016
采用热丝化学气相沉积（chemical vapordeposition,CVD）的方法,以丙酮为碳源生长金刚石薄膜时,利用等离子体发射光谱对生长过程中的等离子体空间分布进行了在线诊断。采用SEM,Ra...
[期刊论文] 作者：易成,王传新,熊江,范咏志,汪建华,马志斌,满卫东,王升高,
来源：激光与光电子学进展 年份：2015
发射光谱(OES)是对等离子体过程进行检测和诊断最常用的方法，利用等离子体发射光谱，在甲烷/H2/Ar 和丙酮/H2/Ar 两种碳源体系下，对热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜过程进行了等离子体原位在线测量，研究了两种碳源下等离子体内部各基团种类、强度的差异，以及气压对......
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