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[学位论文] 作者：胡思熠,
来源： 年份：2013
光刻技术是制造和加工微机电系统和微光机电系统过程中的核心。其中，数字灰度光刻技术因其能生产连续浮雕面型和无需昂贵的常规掩模且工作效率高等优点而成为微纳加工的重要发展方向之一。微机电系统中三维面浮雕轮廓的微纳器件的加工技术与传统半导体技术追求光......
[期刊论文] 作者：胡思熠,许忠保,,
来源：激光技术 年份：2013
为了提高数字灰度光刻系统的焦深,研究了基于点扩散函数稳定性的光瞳编码优化方法,在此基础上综合考虑系统的成像对比度和分辨率,利用工程计算软件MAPLE和光学设计软件ZEMAX...
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