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[学位论文] 作者:程碧胜,, 来源: 年份:2013
由于非晶硅锗材料的光学带隙连续可调,在叠层电池中其被广泛用作中电池和底电池吸收层材料。本文采用射频-等离子体增强化学气相沉积工艺(RF-PECVD)制备非晶硅锗薄膜,系统研究了......
[期刊论文] 作者:程碧胜,雷青松,徐静平,薛俊明, 来源:人工晶体学报 年份:2012
利用射频等离子体增强化学气相沉积工艺(RF-PECVD)制备非晶硅锗薄膜,研究氢稀释率和衬底温度对薄膜光电性能的影响。通过二者的优化制备出光学带隙1.5 eV、光敏性6×104的...
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