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[会议论文] 作者:胡晓凯,宋志棠,刘卫丽,汪海波,张泽芳,王良泳, 来源:2008年上海纳米科技与产业发展研讨会 年份:2008
本论文研究了蓝宝石抛光初始阶段抛光速率与下压力、抛光转速两项工艺参数的关系;分析了抛光过程中摩擦系数的动态变化规律.结果表明,抛光速率大致正比于下压力,即随压力增大...
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