搜索筛选:
搜索耗时0.3028秒,为你在为你在102,267,441篇论文里面共找到 37 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：梁勖,
来源：中国科学院合肥物质科学研究院 年份：2009
本文首先简述了准分子激光的基本特性，回顾了准分子激光的发展历史和背景，简单概括了准分子激光的主要应用，同时，讨论了准分子激光的放电电路及其相关技术等。 本文在探讨了......
[期刊论文] 作者：梁勖,游利兵,黄德文,
来源：激光杂志 年份：2010
介绍了一个用于准分子激光器自动充排气的系统,它由单片机控制的组合电磁阀门构成。文章阐明了系统、机械、电气和软件的结构。在KrF准分子激光器上实现了重复精度较好的自动...
[期刊论文] 作者：张威,方晓东,梁勖,
来源：量子电子学报 年份：2018
248 nm的KrF准分子激光是光纤布拉格光栅（FBG）的首选刻蚀光源。针对FBG的刻写要求,研制了一台小型化KrF准分子激光器,并进行了机械结构设计和改进。实验研究了充电电压、放电电...
[期刊论文] 作者：梁勖,游利兵,余吟山,,
来源：量子电子学报 年份：2010
介绍了一种基于热释电探头的准分子激光能量检测系统，实现了对0—200Hz重复率运行的准分子激光单个脉冲及多脉冲系列的能量实时检测。它由探头、放大、峰值保持、MCU、显示和...
[期刊论文] 作者：赵读亮,梁勖,方晓东,,
来源：激光技术 年份：2017
为了抑制电激励准分子激光系统产生的强电磁干扰,采用电磁辐射理论分析了准分子激光器电磁辐射机理,确定了激光器辐射干扰源主要来源于激光器的主放电回路、出光口和氢闸流管...
[期刊论文] 作者：游利兵,梁勖,余吟山,,
来源：中国激光 年份：2010
准分子器件重复频率高于千赫兹时,闸流管作为传统的放电开关由于寿命瓶颈而不能满足长期稳定工作的要求。采用固体开关结合磁脉冲压缩技术的固态脉冲功率模块(SSPPM)来替代闸...
[期刊论文] 作者：李皙茹,钱小东,鲍健,梁勖,,
来源：大气与环境光学学报 年份：2014
针对MOPA（振荡-放大）准分子激光器双腔放电同步系统,设计了基于PIC16F873A单片机和直接数字式频率合成器（direct digital synthesizer,DDS）芯片AD9833的方波信号发生器。对比传统...
[期刊论文] 作者：李友布,梁勖,赵家敏,鲍健,,
来源：激光技术 年份：2013
为了减小激光器双腔放电时间的相对抖动、稳定激光器输出能量，采用闭环控制回路电压泄放方法，设计了一套主振荡功率放大结构准分子激光谐振充电高精度电压控制方案。通过对电容......
[期刊论文] 作者：王晨,梁勖,林颖,方晓东,
来源：红外与激光工程 年份：2021
介绍了一种MOPA结构的准分子激光全隔离型、高精度的同步触发系统.首先,提出锁相环移相技术结合传统计脉冲的方法实现了系统的高分辨率与大范围;其次,采用全电气隔离的方式实现了系统在复杂的电磁干扰环境下长期稳定运行以及实时控制.系统主要参数达到分辨率1 n......
[期刊论文] 作者：梁勖, 赵读亮, 林颖, 方晓东,,
来源：高电压技术 年份：2018
针对集成电路光刻用准分子激光光源的高重复频率、高精度和高稳定脉冲充电应用需求,设计了一种基于可控LC串联谐振的脉冲充电电源,采用实时检测电路总能量、短路电感中断谐振...
[期刊论文] 作者：游利兵,梁勖,黄德文,余吟山,,
来源：激光杂志 年份：2009
设计了一种用于高重复率准分子激光器的正弦恒流型高压开关电源，逆变主电路采用串联谐振回路，输出电压10kV至15kV，重复率1Hz至300tk。分析了逆变回路工作情况，介绍了变压器的参数......
[期刊论文] 作者：黄德文,游利兵,梁勖,余吟山,
来源：量子电子学报 年份：2009
针对光刻用准分子激光器的激励技术，利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析，验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用。耦合系数越接近于1，高压充电时......
[期刊论文] 作者：张威,梁勖,陶汝华,方晓东,,
来源：红外与激光工程 年份：2016
248 nm的Kr F准分子激光器在光刻、科研等领域有重要的应用。研制了一台用于刻写光纤布拉格光栅的准分子激光器,设计并完善激光器的机械结构,分析了激光器的均匀放电、预电离...
[期刊论文] 作者：梁勖,游利兵,王涛,余吟山,,
来源：中国激光 年份：2010
介绍了一种准分子激光脉冲能量稳定系统。它由能量检测、开关电源和控制器组成。其组成部分均良好屏蔽,组件之间由光纤传递信息,通过均值算法进行脉冲-脉冲的放电电压调节,在...
[期刊论文] 作者：梁勖, 沈启辉, 邵景珍, 林颖,
来源：激光与光电子学进展 年份：2020
准分子激光是大功率输出的深紫外波段激光光源，在多方面具有独特的应用，然而国内的准分子激光行业在关键技术、高端产品等方面和国外仍有一定差距，存在着“卡脖子”的状况。本文首先介绍了准分子激光的基本特性、应用分类、国内外的发展情况等；其次着重介绍了放电泵......
[期刊论文] 作者：钱小东,李皙茹,梁勖,鲍健,张铄,,
来源：激光技术 年份：2015
为了使主振荡功率放大结构的Ar F准分子激光器实现双腔同步放电,采用同步逻辑快速响应双腔放电时序,根据同步控制逻辑自动对双腔延时进行精密调节,使用四位二进制计数器实现...
[期刊论文] 作者：余吟山,游利兵,梁勖,方晓东,,
来源：中国激光 年份：2010
介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展历史。着重阐述了放电激励准分子器件的相关技术,如大能量与大功...
[期刊论文] 作者：赵读亮, 李文洁, 梁勖, 方晓东,,
来源：红外与激光工程 年份：2017
为了满足308 nm准分子激光皮肤治疗仪对激光输出参数,特别是激光能量稳定性的要求,首先建立了激光能量衰减模型,提出了基于激励电压补偿能量的比例积分(PI)算法,对PI算法进行...
[期刊论文] 作者：朱能伟,方晓东,梁勖,赵读亮,,
来源：激光技术 年份：2017
为了获得准分子激光器高脉冲能量输出,采用张氏面型电极的理论,设计了一套能产生大面积均匀电场的紧凑型电极.通过ANSYS软件数值仿真获得了电极表面电场分布,并与紧凑型张氏...
[期刊论文] 作者：马英岚,梁勖,赵读亮,方晓东,,
来源：激光技术 年份：2017
为了在放电激励准分子激光的电磁干扰环境下,实现有效的抗干扰控制系统设计,采用全光纤接口设计和基于电压频率转换实现的高精度模拟信号传输的方法,取得了放电准分子激光空...
相关搜索：
