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[期刊论文] 作者：曲承林,谢雁,
来源：青岛化工学院学报：自然科学版 年份：1992
设计了一种射频电极作为基板支架的射频等离子体化学气相沉积系统.其温度可达700℃,负偏压是可调的.并以沉积的TiN膜的取向为例说明了系统的工作情况....
[期刊论文] 作者：曲承林,谢雁,李世直,,
来源：青岛化工学院学报 年份：1992
设计了一种射频电极作为基板支架的射频等离子体化学气相沉积系统.其温度可达700℃,负偏压是可调的.并以沉积的TiN膜的取向为例说明了系统的工作情况.A radio frequency pl...
[期刊论文] 作者：曲承林,窦方亮,汤大新,,
来源：物理实验 年份：1986
本文介绍了最新设计的 JD—2型黑体的结构特点和测试结果.由于采用新型材料,改进了结构设计,使这种黑体具有体积小,结构简单,维修方便,温度范围宽,升温速度快等特点.In thi...
[期刊论文] 作者：曲承林,刘训民,王继扬,马世刚,
来源：人工晶体学报 年份：1996
本文采用电子辅助热丝化学气相沉积法合成了厚度为４４０μｍ的金刚石膜。实验结果表明，适当地选择和控制各种沉积参数，可获得高质量的金刚石膜。本文还分析和讨论了基板温度、偏流、压......
[会议论文] 作者：曲承林,朱永祥,谢广文,刘元生,
来源：1999年第二届表面工程国际会议 年份：1999
设计了一种生产金刚石膜片的装置，每次可生产六片19～38cm的金刚石膜片，该装置是由六个相同的真空室组成，既可同时工作又可单独工作，并可利用计算机进行自动控制。其中配有特殊的灯......
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