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[期刊论文] 作者：明志发,郭帅,桂志刚,王博文,,
来源：机械制造 年份：2015
介绍了基于LabVIEW软件开发的单片式晶片自动化电镀设备的控制系统,详细阐述了各控制模块之间的通信.设备具备即时工作状态显示、完善的工艺数据库管理和详细的历史记录存储...
[期刊论文] 作者：桂志刚,陆利新,明志发,王博文,郭帅,,
来源：机械制造 年份：2015
根据客户需求自主开发全自动晶圆电镀设备,研究了基于Lab VIEW模块化控制系统的设计,完成了多线程协调控制以及多线程间数据交换技术,实现了对晶圆自动化电镀设备的协调控制,...
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