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[学位论文] 作者:明安杰,, 来源: 年份:2005
随着现代社会对信息传输容量和速度要求的不断提高,人们对现有的通信体系提出了更高的要求。光纤通信由于具有许多优点,如巨大的传输带宽、极低的传输损耗以及抗强电磁干扰等...
[学位论文] 作者:明安杰, 来源:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 年份:2008
可调谐光栅由于衍射光角度以及衍射光强可调而有其广泛的应用需求和研究意义。MEMS技术与可调谐光栅结合一方面可以实现微型化,另一方面可以获得更多、更好的性能。但随着周期......
[期刊论文] 作者:王刚,明安杰,梁静秋, 来源:微纳电子技术 年份:2005
概述了光开关的各种性能指标;综述了目前业已实用或正在研究的光开关阵列的各种制作技术,分析了其发展趋势;最后介绍了MOEMS光开关的结构和工作原理。...
[期刊论文] 作者:明安杰, 李铁, 王跃林,, 来源:功能材料与器件学报 年份:2009
文章提出了一种大位移低驱动电压的MEMS静电梳齿驱动器,对器件进行了设计、模拟、制作以及测试。梳齿驱动器的侧向不稳定性即侧向吸合现象限制了梳齿驱动器的最大驱动位移,发现......
[期刊论文] 作者:高璇,郭涛,欧文,明安杰,刘谨,, 来源:红外技术 年份:2012
提出了一种与CMOS工艺兼容、高响应率、低噪声的微机械热电堆红外探测器。该结构热电偶数目为两对,材料为P/N型多晶硅,吸收层材料为TiN。采用较少热电偶对的方式来降低噪声,引入......
[期刊论文] 作者:兰卫华,明安杰,梁静秋, 来源:光通信技术 年份:2004
阐述了国内MOEMS光开关的研制现状,列举了国内正在研制的各种MOEMS光开关的结构和性能参数,并且分析了影响光开关性能的各种因素。...
[期刊论文] 作者:明安杰,李铁,周萍,王跃林, 来源:半导体学报 年份:2008
制作了一种低驱动电压、位移达100μm的梳齿驱动器.为了增加驱动器的驱动位移,对驱动器的侧向稳定性进行了分析.根据分析结论,提出了一种采用小梳齿间隙,高纵/横向弹性常数比...
[期刊论文] 作者:刘翔,李铁,明安杰,王跃林,, 来源:半导体学报 年份:2010
A MEMS compressed period-tunable grating device with a wide tuning range has been designed,fabricated and characterized.To increase the tuning range,avoid insta...
[期刊论文] 作者:明安杰,李铁,周萍,王跃林,, 来源:半导体学报 年份:2004
制作了一种低驱动电压、位移达100μm的梳齿驱动器.为了增加驱动器的驱动位移,对驱动器的侧向稳定性进行了分析.根据分析结论,提出了一种采用小梳齿间隙,高纵/横向弹性常数比...
[期刊论文] 作者:蒋文静,欧文,明安杰,刘战锋,袁烽, 来源:红外与毫米波学报 年份:2014
在绝缘衬底上的硅(SOI)制备的二极管型非制冷红外焦平面是利用单晶硅PN结二极管作为温度探测器, 比其它类型非制冷红外焦平面具有自己的独特优势.描述了传统型像素的结构与特性......
[期刊论文] 作者:明安杰,李铁,刘文平,王跃林,, 来源:微细加工技术 年份:2007
研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象.实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高,室温下纵/横向侧蚀...
[会议论文] 作者:谭振新;赵敏;明安杰;欧文;陈大鹏;, 来源:第十二届全国敏感元件与传感器学术会议 年份:2012
  为了实现MEMS传感器低成本、批量化生产的要求,解决传统测试仪表功能固定、可升级空间较小等缺点,建立一套高效、可靠的测试系统显得尤为重要。本文介绍了一种以振动台和温......
[期刊论文] 作者:蒋文静,欧文,明安杰,刘战锋,袁烽,, 来源:红外与毫米波学报 年份:2014
在绝缘衬底上的硅(SOI)制备的二极管型非制冷红外焦平面是利用单晶硅PN结二极管作为温度探测器,比其它类型非制冷红外焦平面具有自己的独特优势.描述了传统型像素的结构与特...
[期刊论文] 作者:王志勇,魏国俊,董林,李辉明,安杰, 来源:临床骨科杂志 年份:2019
目的总结三角肌肌间隙入路Philos钢板内固定治疗肱骨近端骨折的疗效。方法采用三角肌肌间隙入路Philos钢板内固定治疗28例肱骨近端骨折患者。结果 1例出现肱骨头缺血性坏死,2...
[期刊论文] 作者:明安杰,谭振新,吴健,赵敏,欧文,陈大鹏,, 来源:红外与激光工程 年份:2014
提出了一种7通道并行测试的MEMS加速度计自动化测试分析系统,该系统高度集成多种功能,实现了加速度计高效率测试与分析。在常规测试系统基础上,该系统通过上层应用程序Labvie...
[期刊论文] 作者:赵利俊,欧文,闫建华,明安杰,袁烽,夏燕,, 来源:红外技术 年份:2012
报道了一种与CMOS工艺兼容的微机械热电堆红外探测器。提出了具有一对热电偶的两层悬浮结构,其占空因子达到80%以上,并采用P/N多晶硅作为热电偶材料,黑硅作为吸收层材料。给...
[期刊论文] 作者:王玮冰,陈大鹏,明安杰,欧文,刘战峰,, 来源:红外与激光工程 年份:2011
面向非制冷红外成像的低成本高性能应用,二极管原理的红外焦平面阵列的设计和工艺实现得到研究和发展。焦平面和读出电路的设计集成以及CMOS和MEMS工艺集成是此项技术的研究...
[会议论文] 作者:明安杰;赵敏;谭振新;吴健;欧文;陈大鹏;, 来源:2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 年份:2013
本文提出了一种多通道并行测试的MEMS(微电子机械系统)压力传感器自动测试平台.经过评估测试,该自动化测试平台具有较高的测试精度,测试误差小于t0.2%,为测量结果的准确性提供有......
[会议论文] 作者:罗九斌,秦毅恒,明安杰,欧文,陈大鹏, 来源:第十二届全国敏感元件与传感器学术会议 年份:2012
  本文就红外传感器器件级封装展开研究,主要从红外光窗材料选择、封装kovar盖板结构优化、光窗焊接焊料选择、光窗盖板与管壳焊接工艺开发四个方面综合考虑。通过材料性能...
[会议论文] 作者:王保东,郭汾,陈焕明,安杰,白风志,王振华, 来源:中国兵工学会焊接专业委员会第五届年会 年份:1999
本文介绍了双枪双工艺焊接数控系统的研制.成功地解决了这一工艺难题.系统的各项技术指标均满足了预定的技术标准....
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