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[期刊论文] 作者：徐静浩,,
来源：乐器科技 年份：1980
活塞笛是根据笛塞在管内左右运动能使笛音降低或升高的原理进行改革设计的。平时,笛塞由钢丝弹簧压紧在正常位置(见图),当持笛的下把手的大指将牵引绳环往笛尾方向一拉时,笛...
[会议论文] 作者：徐静浩,步扬,王向朝,
来源：第十七届全国光学测试学术交流会 年份：2018
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[期刊论文] 作者：罗茂,步扬,徐静浩,王向朝,,
来源：中国激光 年份：2017
为实现对光学元件表面疵病的精确测量和计数,提出了一种基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法,该方法采用不同波长的入射光源均匀照明光学元件表面,通过暗场显微成像系...
[会议论文] 作者：刘志帆, 步扬, 徐静浩, 张建华, 王向朝,,
来源： 年份：2016
照明系统是光刻机的重要组成部分,其作用是为光刻机提供满足要求的照明模式。常用的照明模式包括传统照明、环形照明、二极照明和四极照明等,主要用于改善不同类型光刻图...
[会议论文] 作者：刘志帆, 步扬, 徐静浩, 张建华, 王向朝,,
来源： 年份：2004
光刻曝光系统的分辨率决定集成电路图形的特征尺寸。离轴照明技术可提高光刻曝光系统的分辨率并增大焦深。利用衍射光学元件与变焦距准直透镜组配合可实现环形照明、双极照明...
[会议论文] 作者：步扬,徐静浩,曹红曲,徐文东,王向朝,
来源：2015年红外、遥感技术与应用研讨会暨交叉科学论坛 年份：2015
宽光谱大视场显微成像光学系统是45nm技术节点全自动光学在线有图形硅片缺陷检测设备的两大核心部件之一.为满足对硅片上不同工艺层、不同缺陷的快速、准确、大范围检测要求,该光学系统必须是宽光谱(近紫外到可见光)、大数值孔径(NA≥0.85)、大视场、平场光学系......
[会议论文] 作者：王远航,步扬,徐静浩,杨言若,王向朝,
来源：第十七届全国光学测试学术交流会 年份：2018
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[会议论文] 作者：张海裕, 步扬, 郑臻荣, 徐静浩, 王向朝,,
来源： 年份：2016
高精密、高功率光学系统中的光学玻璃所含杂质会严重影响光学系统性能,如光学玻璃研磨抛光后,表面残留液会严重影响高功率光学系统光束质量,甚至导致光学器件损伤。为了...
[会议论文] 作者：杨言若,步扬,徐静浩,王少卿,王向朝,
来源：第十七届全国光学测试学术交流会 年份：2018
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[期刊论文] 作者：刘志帆, 陈明, 步扬, 徐静浩, 范李立, 张建华, 王向,
来源：中国激光 年份：2004
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技...
[期刊论文] 作者：徐洋,唐锋,王向朝,徐静浩,范李立,程欣,,
来源：中国激光 年份：2011
绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边...
[期刊论文] 作者：杨言若, 步扬, 徐静浩, 王少卿, 王向朝, 李杰,,
来源：中国激光 年份：2004
为实现精密光学元件表面疵病的高效测量和精确统计,提出了一种基于光谱估计和多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法。该方法利用光谱估计提取白光图像中不同波长的单光谱疵...
[期刊论文] 作者：冯鹏,唐锋,王向朝,卢云君,徐静浩,郭福东,张国先,,
来源：中国激光 年份：2021
提出了一种用于测量高精度成像系统的双孔点衍射干涉仪,具有高光场均匀性、高可测量数值孔径、准共光路、相移元件在系统成像光路以外的优点。设计了两种测量模式,点衍射测量模式和系统误差测量模式,其中系统误差模式用于标定干涉仪的系统误差。分别搭建了双孔......
[期刊论文] 作者：孙海轶,王关德,李学红,彭凯伦,邹家杰,彭宇杰,王成,冷雨欣,徐静浩,范李立,袁丰华,李中梁,步扬,王天泽,张子怡,新刚,林楠,
来源：激光与光电子学进展 年份：2023
锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外（LPP-EUV）光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。该论文展示了上海光机所EUV光源团队近来在液滴发生器方面的研究进展，包括液滴直径、重复频率、间距、位置和稳定性等......
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