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[期刊论文] 作者：徐均琪, 冯小利,,
来源：光电工程 年份：2009
研究了椭偏测量中多层薄膜拟和模型建立的过程，并对一未知多层光学薄膜进行了椭偏分析，建立了substrate／filml／EMA／film2／srough的物理结构模型。采用椭偏法，在首先确定出基底光学常......
[会议论文] 作者：徐均琪, 苏俊宏,
来源：第十三届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集 年份：2010
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[会议论文] 作者：李建超,徐均琪,
来源：中国真空学会2016学术年会 年份：2016
大功率激光技术的发展，要求光学系统具有更强的抗损伤能力，光学薄膜是激光系统中重要而易损的薄弱环节。寻求光学特性良好、抗激光损伤能力强的高折射率材料有着重要的工程意义。本文针对LaTiO3 这种高折射率低吸收镀膜材料，采用射频溅射方法沉积，在1064nm激光测试......
[期刊论文] 作者：刘衡平,徐均琪,严一心,,
来源：表面技术 年份：2009
利用非平衡磁控溅射（UBMS）技术在硅基片上制备了无氢碳膜，并采用Raman光谱、X射线衍射、傅立叶变换光谱等手段对不同靶电流下沉积的薄膜的微观结构、沉积速率、粗糙度、表面接触......
[期刊论文] 作者：杭凌侠,徐均琪,等,
来源：光学仪器 年份：2001
从应用的角度讨论了脉冲电弧离子镀技术镀制类金刚石薄膜的附着力问题，指出了影响附着力的主要因素，提出了增加附着力的几种途径。...
[会议论文] 作者：苏俊宏,赵丹,徐均琪,
来源：第四届全国信息光学与光子器件学术会议 年份：2012
光学薄膜的激光损伤阈值是衡量光学薄膜抗激光损伤能力的重要参数。而测量损伤阈值的关键是准确地判定损伤是否发生。为解决常见损伤判别方法的不足，尤其是误判问题，本文提......
[期刊论文] 作者：韩军,弥谦,徐均琪,
来源：应用光学 年份：1999
针对南光 Ｚ Ｚ Ｓ７００１／ Ｇ 箱式真空镀膜机电子枪扫描系统的缺陷， 提出一种实用的改进装置， 克服了被镀材料蒸发特性不同带来的膜厚误差， 提高了膜层质量。Aiming at the defects of sca......
[期刊论文] 作者：苏俊宏,赵丹,徐均琪,
来源：光学学报 年份：2012
光学薄膜的激光损伤阈值是衡量光学薄膜抗激光损伤能力的重要参数，而测量损伤阈值的关键是准确地判定损伤是否发生。为解决常见损伤判别方法的不足，尤其是误判问题，提出了一种新的判别方法闪光光谱峰值位法。激光辐照薄膜时薄膜表面发生闪光，利用光谱仪接收闪光光谱......
[会议论文] 作者：李媛,徐均琪,苏俊宏,
来源：第十八届十三省市光学学会联合年会 年份：2010
随着高能量、大功率激光技术的发展，促使激光防护越来越受到国内外研究者的重视，这使得薄膜的激光损伤特性研究极为重要。如何不断提高光学薄膜元件的激光损伤阈值，始终是提高激......
[会议论文] 作者：谢松林,苏俊宏,徐均琪,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2006
使用脉宽12ns，波长1064nm调Q Nd：YAG激光器对真空阴极电弧沉积（VCAD）法制备的类金刚石薄膜进行抗激光损伤测试，结果表明，VCAD法镀制的薄膜抗激光损伤阈值为0．6J／cm^2。通过对热冲击效......
[期刊论文] 作者：师云云,徐均琪,苏俊宏,
来源：应用光学 年份：2020
复合薄膜因其可具有比单组份薄膜更加优异的性能而得到广泛的应用。通过以膜层的防护、催化、电学、光学以及力学性能等复合思想为切入点,阐述了通过膜层的复合掺杂旨在增强...
[期刊论文] 作者：师云云,徐均琪,苏俊宏,
来源：光子学报 年份：2020
以SiO2、TiO2、YF3为单组分材料分别制备了SiO2/YF3、TiO2/YF3复合薄膜,探究复合后膜层的光学、力学以及抗激光损伤性能的变化情况.采用双源共蒸技术,通过控制膜料蒸发时的沉...
[期刊论文] 作者：徐均琪,刘梦夏,弥谦,
来源：应用光学 年份：2001
介绍用光谱曲线同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k和薄膜厚度d的方法，给出严格的计算公式和处理过程，以及计算程序框图。用微型计算机很容易实现这一计算。...
[期刊论文] 作者：李倩,杭凌侠,徐均琪,,
来源：应用光学 年份：2009
采用宽光谱变角度椭圆偏振仪对非平衡磁控溅射（UBMS）技术沉积的类金刚石（DLC）薄膜的光学常数进行了测量与分析。在建立模型时，根据DLC薄膜成膜特性，分析和调整了模型结构；综合考虑了......
[期刊论文] 作者：李传志,徐均琪,严一心,,
来源：材料导报 年份：2008
利用非平衡磁控溅射技术溅射复合靶制备了一系列掺杂金属元素钛的类金刚石膜，并对薄膜的机械性能、沉积速率、电学性能及化学性能进行了测试，主要分析了影响机械性能、沉积速率......
[期刊论文] 作者：徐均琪,杭凌侠,蔡长龙,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
磁控溅射镀膜技术由于具有显著的优点而得到了广泛的应用.磁控溅射离子束流密度的大小及分布状况,直接决定着薄膜质量的优劣.本文通过对比研究了普通磁控溅射(MS)和非平衡磁...
[期刊论文] 作者：苏俊宏,谢松林,徐均琪,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2008
类金刚石薄膜是一种很好的红外窗口表面增透保护材料,随着对其抗激光损伤特性研究的不断深入,越来越多的研究者都将研究的重点放在了如何提高其激光损伤阈值上。然而,不同沉...
[会议论文] 作者：马健波,徐均琪,邹逢,
来源：中国真空学会2012学术交流会 年份：2012
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[会议论文] 作者：杭良毅, 徐均琪, 苏俊宏,,
来源： 年份：2004
随着大功率、高能量激光技术的不断发展,光学薄膜已成为激光系统中重要而易损的薄弱环节。在强激光的长期作用下,光学薄膜材料的结构及其性能往往会发生变化,从而导致光谱特...
[期刊论文] 作者：惠迎雪,杭凌侠,徐均琪,
来源：西安工业学院学报 年份：2005
沉积速率是影响薄膜性能的重要参数,直接影响着薄膜质量的优劣.本文采用磁控溅射方法,在玻璃基底上沉积钛膜.通过对比研究了平衡磁控溅射和非平衡磁控溅射两种工作模式下,靶...
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