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[期刊论文] 作者：张以忱,
来源：真空 年份：1996
第三讲：机械真空泵（四）张以忱（东北大学）（七）余摆线真空泵余摆线真空泵的转子与泵腔的型线均为“余摆线”。目前真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、...
[期刊论文] 作者：张以忱,
来源：真空 年份：1995
第三讲：机械真空泵（二）张以忱（东北大学）四、油封式旋转机械真空泵（一）油封机械真空泵工作原理用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称油外机械真空泵...
[期刊论文] 作者：张以忱,
来源：真空 年份：1995
真空技术及应用系列讲座第三讲：机械真空泵张以忱（东北大学）一、机械真空泵的分类及主要性能参量（一）机械真空泵的分类真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的...
[期刊论文] 作者：张以忱,
来源：真空 年份：1995
第三讲：机械真空泵（三）张以忱（东北大学）（４）气镇装置的结构与计算１）气镇阀的结构与设置最简单常用的气镇间结构如图９所示。一般均由调节件与逆止间两部分组成。调节件用来控制掺入的气体...
[期刊论文] 作者：张以忱,
来源：真空 年份：1996
第三讲：机械真空泵（五）张以忱（东北大学）六、分子真空泵（一）牵引分子泵１．概述分子真空泵是在１９１１年由德国人盖德（Ｗ·Ｇａｅｄｅ）首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突...
[期刊论文] 作者：,
来源：岭南师范学院学报 年份：2016
2016年4月5日上午,大连大学信息工程学院副院长、通信与网络重点实验室副主任、中国指挥与控制学会青年工作委员会副主任陈波教授应机电工程学院邀请,为我校“雷阳大讲坛”做...
[期刊论文] 作者：张以忱,,
来源：真空 年份：2008
(上接2008年第3期第80页)3.2机械泵抽气系统清洁真空的获得油封机械真空泵(简称机械泵)广泛应用于真空系统中,多数作为前级真空泵。(Continued on page 80 of 2008, p. 80)...
[期刊论文] 作者：张以忱,,
来源：真空 年份：2009
3.8.1.3旋片泵的大修旋片泵经较长时间运转(一般为2500h)后需要进行大修。大修时应将所有零件拆下来进行清洗,清洗时最好用专门清洗金属机件的清洗液。清洗中发现磨损的...
[期刊论文] 作者：张以忱,,
来源：真空 年份：2014
(接2014年第5期第80页)靶—基距对沉积速率有很大影响,图19给出了S-枪靶的靶基距对沉积速率的影响。从图中可见,随着靶基距的增加,沉积速率呈双曲线状下降。沉积速率随靶...
[期刊论文] 作者：张以忱,,
来源：真空 年份：2007
(上接2007年第5期第80页)常用的高温活性钎料见表5。3.4.2直接钎焊工艺上述的陶瓷金属化形成的各种钎焊接头,因为存在着涂层或镀层,使陶瓷组件在高温使用受到限制,难以发...
[期刊论文] 作者：张以忱,
来源：真空 年份：2003
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[期刊论文] 作者：张以忱,,
来源：真空 年份：2006
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[期刊论文] 作者：张以忱,,
来源：真空 年份：2007
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[期刊论文] 作者：张以忱,,
来源：真空 年份：2018
(接2018年第4期第80页)(1)等离子体鞘:基片(工件)放进等离子体云中,不与等离子体直接接触。基片与等离子体之间隔了一层电中性被破坏了的薄层,是一个负电位区,称等离子体...
[期刊论文] 作者：张以忱,,
来源：真空 年份：2014
(接2013年第6期第78页)⑤具有轴向枪、磁聚焦和磁偏转90°的蒸发器:如图11(e)所示。采用水平安装电子枪,电子束经静电偏转或磁偏转之后再轰击镀料,可克服蒸气污染和占用...
[期刊论文] 作者：张以忱,,
来源：真空 年份：2013
1概述真空蒸发镀膜(简称蒸镀)是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质,使之汽化,蒸发粒子流直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。蒸镀是PVD技术中发展最早,应用...
[期刊论文] 作者：张以忱,
来源：真空 年份：2002
3.6 .4 铼 (Re) (上接 2 0 0 2年第 2期第 6 2页 )铼具有极高的熔点 (在难熔金属中仅次于钨 ,位于第二 ) ,而且在高温时 ,蒸气压低。铼在退火后的强度和延展性都很好 ,但是...
[期刊论文] 作者：张以忱,,
来源：真空 年份：2017
(接2017年第5期第80页)(2)中频溅射的沉积速率高。对硅靶,中频反应溅射的沉积速率是直流反应溅射速率的10倍。比射频溅射高五倍左右。(3)中频溅射过程可稳定在设定的工作...
[学位论文] 作者：张以忱,,
来源：东北大学 年份：2008
目前,薄膜技术正朝着多元化、梯度化、复合化的方向发展。提高薄膜体系力学性能的有效工艺手段之一是制备多层复合膜,并在考虑多层复合膜构成组元的性质和沉积条件相关性的基...
[期刊论文] 作者：张以忱,
来源：真空 年份：2004
(上接2004年第4期第152页)4 真空测量仪表的维护与故障诊断4.1 真空测量仪表的维护真空仪表的维护和保管工作是保证测量结果的准确、可靠以及延长使用寿命的一个重要环节。...
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