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[学位论文] 作者:常洪龙,, 来源: 年份:2002
MEMS是新兴的技术领域,具有广阔的应用前景,世界各国都将其作为研究和发展的重点。但目前MEMS的发展面临着产品研发周期长、成本高等问题,研究表明MEMS的设计水平落后于制造水平......
[期刊论文] 作者:康昊, 常洪龙,, 来源:导航与控制 年份:2004
模态局部化效应是安德森局部化在结构动力学中的一种具体表现形式,其利用振动模态的能量局部集中效应实现了灵敏度的大幅度提高。因此,模态局部化效应近年来逐渐被用于研制高...
[期刊论文] 作者:常洪龙,苑伟政,, 来源:机械工程学报 年份:2008
论述了微机电系统设计工具的发展概况,并针对微机电系统的多样性对设计工具的需求提出了一种可支持任意流程的微机电系统设计工具架构。该架构以系统级行为建模与仿真、器件级......
[期刊论文] 作者:常洪龙,苑伟政, 来源:西北工业大学学报 年份:2004
误差源是以弱小信号处理为特征的微机械陀螺精度提高的主要制约因素.分析了音叉电容式微机械陀螺由本身工作模式和加工误差造成的两类误差源,并探讨了相应的消除方法.首先采...
[期刊论文] 作者:李恩甫,常洪龙,, 来源:导航与控制 年份:2019
国际单位制共有7个基本单位,时间就是7个基本单位之一,是目前能够实现的测量精度最高的一个物理量。因此,将加速度的测量转化为时间的测量,是实现加速度高精度检测的有效途径。首先,介绍了基于时间测量的加速度敏感原理。然后,介绍了基于该敏感原理的加速度传感......
[会议论文] 作者:常洪龙,苑伟政, 来源:第五届全国微米/纳米技术学术会议 年份:2001
结合微陀螺的设计,提出了一种新的"Top-down"集成设计方法,并研究了从MEMS器件的三维实体模型自动生成二维版图文件的关键技术,从而实现"Top-down"集成设计过程....
[期刊论文] 作者:符强,马炳和,常洪龙,, 来源:仪表技术与传感器 年份:2009
微机械加速度计的输出受到环境温度的影响。文中以姿态参照系统为例,通过温度实验,得到了姿态参照系统中的微机械加速度计在不同温度下的输出,通过数据拟合建立了静态温度模型,对......
[期刊论文] 作者:刘莹,苑伟政,常洪龙,, 来源:传感技术学报 年份:2015
本文给出了一种基于轨迹分段线性化TPWL(Trajectory Piecewise-Linear)方法的非线性热电耦合宏建模技术。首先建立了MEMS热微执行器的三维非线性热电耦合模型,并采用有限元方法...
[期刊论文] 作者:刘安鹏,苑伟政,常洪龙,, 来源:弹箭与制导学报 年份:2005
介绍了基于 MEMS 技术的 MIMU 的构成、工作原理及安装误差补偿方法,设计了一种由 MIMU 与微小型 GPS 接收器组成的导航系统,系统采用闭环反馈的校正方式,能对 MIMU 的位置、...
[期刊论文] 作者:滕云,苑伟政,常洪龙,, 来源:传感技术学报 年份:2011
根据"所见即所得"的设计理念,提出了一种面向三维实体建模的MEMS设计方法,实现了从三维实体到系统级模型或工艺版图的设计流程,使设计者可以首先直接建立器件的三维实体模型,在完成有限元分析后,可以通过组件映射和宏模型提取的方式获得系统级模型,再通过自动版......
[期刊论文] 作者:康昊,苏健军,常洪龙, 来源:科学技术与工程 年份:2021
为研究基于单面刻蚀的微机电系统制造工艺对模态局部化加速度计的影响,通过分析释放和刻蚀工艺对模态局部化加速度计结构的影响以及对加速度计幅频特性和初始工作点的影响研究了粘附和根切对模态局部化加速度计的影响.结果表明:释放氧化层时由于液体张力的存在......
[期刊论文] 作者:苑伟政,焦文龙,常洪龙,, 来源:光学精密工程 年份:2013
微流控设计技术对于提高微流控设计效率,降低研发成本具有重要意义。微流控设计技术中的系统级建模与仿真是实现微流控快速设计、优化、验证的重要方法。本文首先对微流控设...
[期刊论文] 作者:常洪龙,苑伟政,马炳和, 来源:中国机械工程 年份:2004
针对微机电系统设计所存在的多学科交叉、周期长等问题,提出自顶向下设计与自底向上修正的双向微机电系统集成设计方法,将设计流程分为系统级、器件级和工艺级三个阶层;以微...
[期刊论文] 作者:张和民, 苑伟政, 常洪龙,, 来源:机械工程学报 年份:2019
高灵敏度微加速度传感器是惯性导航系统的核心器件,用于战略导弹及潜艇的无源惯性导航以保证其制导和定位精度,也可以为固体地球演化、海洋气候变化和地球物理勘探等国家...
[期刊论文] 作者:谢建兵,苑伟政,常洪龙, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2010
研究了一种基于深反应离子刻蚀(DRIE)中notching效应的MEMS单步干法制造工艺.首先,基于DRIE刻蚀SOI硅片时notching现象产生的机理,设计了多种不同线宽的槽结构,验证notching效...
[期刊论文] 作者:南素娟,李晓莹,常洪龙,, 来源:机电一体化 年份:2010
目前一般均采用电荷放大器作为微机械陀螺前置接口电路,实现电容变化信号C/V转换提取。文章设计了一种能够抑制低频噪声的微机械陀螺前置C/V转换电路,分析了低噪声前置C/V转换电路......
[期刊论文] 作者:蒋庆华,苑伟政,常洪龙, 来源:航空工程进展 年份:2010
针对无人机对惯性测量组合的小尺寸、轻重量的需求,设计实现了芯体为1cm3的微小型单芯片的硅微惯性测量组合。论文提出了一种基于体硅深刻蚀—玻璃键合工艺的单芯片惯性测量...
[期刊论文] 作者:古玉锋,田梦君,常洪龙, 来源:新技术新工艺 年份:2006
论述了∑-△调制器的基本原理,将∑-△调制技术应用于微加速度计系统,设计了一种新型的微加速度计,建立了系统模型。并对系统的频率特性进行了分析,表明基于该技术的微加速度计系......
[期刊论文] 作者:谢建兵,苑伟政,常洪龙,, 来源:传感技术学报 年份:2006
在分析了微机械陀螺机械耦合误差产生原因的基础上,提出了一种解耦梁方案,可以从结构上消除振动式微机械陀螺敏感模态对驱动模态的耦合影响;基于该解耦梁方案设计了一种新型的Z......
[期刊论文] 作者:蒋庆华,苑伟政,常洪龙,, 来源:传感技术学报 年份:2006
接口电路是电容式微机械陀螺研制中的关键技术之一.给出了一种通用的电容式微机械陀螺接口电路方案.该方案包括电容检测和信号处理两个模块.相位相反幅度相同的两路高频载波加在......
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