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[期刊论文] 作者：胡江川,蔡红梅,喙松林,邱服民,
来源：红外与激光工程 年份：2004
为了控制高损伤阈值高反射镜膜层的应力,研究了沉积过程中沉积倾角、充氧量对高、低折射率单层膜应力大小的影响.研究发现这两个参数对控制薄膜应力有很大影响,SiO2薄膜在沉...
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