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[学位论文] 作者:邓亚飞,, 来源:广东工业大学 年份:2013
近年来,随着智能手机、平板电脑等高端电子产品的出现,要求印制电路板(PCB)的走线越来越窄,目前部分PCB产品的线宽已经小于10gm,今后10内10μm左右线宽的PCB将越来越流行,这...
[期刊论文] 作者:邓亚飞, 周金运, 雷亮, 冉坐, 周亚梅,, 来源:光电工程 年份:2013
针对大面积且高密度PCB光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计了一种8片式光刻投影物镜。该物镜采用对称双高斯结构,放大倍率为-1,数值孔径NA=O.06,单次曝光面积Ф=-80咖m,具有优于7μm的......
[期刊论文] 作者:冉坐,周金运,雷亮,周亚梅,邓亚飞,, 来源:应用光学 年份:2013
为研究大面积激光投影光刻的调焦,利用Zemax光学设计软件模拟离焦对光程差(OPD)和调制传递函数(MTF)的影响,分析二者对投影曝光图形质量的影响,给出系统最大的离焦量值。提出...
[期刊论文] 作者:周亚梅, 周金运, 雷亮, 冉坐, 邓亚飞, 林清华,, 来源:压电与声光 年份:2013
通过建立拉曼-纳斯衍射模型,运用数值模拟法,获得了拉曼-纳斯声光衍射的各级光强分布规律。表明调制因子对拉曼-纳斯衍射现象的产生有重大作用,且随着调制因子的增加,各衍射级的......
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