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薄膜晶体管在显示器、光电传感器及其驱动电路领域具有重要的作用.本文简要回顾了薄膜晶体管的发展现状,总结了薄膜晶体管常用材料和工艺的特点与最新进展,并构想了未来技术发展的新方向.
薄膜晶体管技术发展概要
【摘 要】
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薄膜晶体管在显示器、光电传感器及其驱动电路领域具有重要的作用.本文简要回顾了薄膜晶体管的发展现状,总结了薄膜晶体管常用材料和工艺的特点与最新进展,并构想了未来技术
【机 构】
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国家知识产权局专利局电学部
【出 处】
：
大科技
【发表日期】
：
2004年期
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