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以硅溶胶为硅源，蔗糖为碳源，采用低温碳热还原法合成了SiC微粉。低温处理过程为室温到800℃，升温速率为6℃／min。在低温处理过程中蔗糖，硅溶胶混合前驱体转化为球形碳颗粒和SiO2的混合物。800℃以上的升温速率为15℃／min。低温处理后的反应前驱体在1700℃下反应1h全部转化为β-SiC，产物的颗粒尺寸在1μm左右，为近似球形的颗粒。升高反应温度有利于提高反应速率，缩短反应时间。延长反应时间能增加转化率。