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太阳能硅片厚度与翘曲度检测方法及振动抑制研究
太阳能硅片厚度与翘曲度检测方法及振动抑制研究
来源 :计量与测试技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:akiheeca
【摘 要】
:
本文设计了一种太阳能硅片厚度与翘曲度检测装置,阐述了厚度与翘曲度的检测方法,分析了检测过程中存在的问题,并通过算法优化,提出了一种可靠的解决方案。实践表明,该算法可
【作 者】
:
郑博文
徐欣
周波
应献
【机 构】
:
台州市计量技术研究院
【出 处】
:
计量与测试技术
【发表日期】
:
2016年3期
【关键词】
:
厚度
翘曲度
振动
算法
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本文设计了一种太阳能硅片厚度与翘曲度检测装置,阐述了厚度与翘曲度的检测方法,分析了检测过程中存在的问题,并通过算法优化,提出了一种可靠的解决方案。实践表明,该算法可有效地抑制振动因素,从而提高了测量精度。
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