光探针式表面形貌测量技术的研究

来源 :计量与测试技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：miss3yoyo

【摘要】

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本文针对机械探针是粗糙度测量仪的不足提出并采用基于差动像散法的光探针技术测量表面粗糙度,采用小波包分析法分离表面粗糙度信号.研究表明该系统不仅测量分辨率高,而且对

【作者】

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张蕴冬浦军

【机构】

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哈尔滨市计量检定测试所

【出处】

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计量与测试技术

【发表日期】

：

2005年7期

【关键词】

：

测量技术表面形貌探针式表面粗糙度测量分辨率测量重复性技术测量工件表面形貌测量光探针测量仪分析法小波包材料

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本文针对机械探针是粗糙度测量仪的不足提出并采用基于差动像散法的光探针技术测量表面粗糙度,采用小波包分析法分离表面粗糙度信号.研究表明该系统不仅测量分辨率高,而且对工件表面无任何划伤,尤其适合对光盘等含有信息的表面及软、脆材料制作的高光洁表面进行形貌测量,对Ra为0.012μm的粗糙度样板进行测量,其测量重复性为2%.

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