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针对Pd8Y0．23Ru合金膜在透氢起始阶段氢渗透率不稳定的问题，分别采用XPS、SEM以及XRD对合金膜的表面成分、形貌以及相结构进行了研究。结果表明，氢渗透率升高是由两方面原因造成的：一是氢渗透过程中除去了占据合金膜表面活性解离位点的含C杂质，加快了氢气的解离，渗透控速过程逐渐转变为体扩散过程，使实验初期渗透率显著升高；二是氢渗透过程中，合金膜存在再结晶现象，导致晶粒细化，增加了晶界扩散占比，使氢原子体扩散系数变大。