【摘 要】
：
利用Ti掺杂ITO靶材,采用单靶磁控溅射法在玻璃基底上制备厚度为50～300 nm的ITO：Ti薄膜。借助X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、可见光分光光度计、霍尔测试系统和四探针电阻测量
【机 构】
：
北京科技大学冶金与生态工程学院,高端金属材料特种熔炼与制备北京市重点实验室,稀有金属特种材料国家重点实验室
论文部分内容阅读
利用Ti掺杂ITO靶材,采用单靶磁控溅射法在玻璃基底上制备厚度为50～300 nm的ITO：Ti薄膜。借助X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、可见光分光光度计、霍尔测试系统和四探针电阻测量仪,研究薄膜厚度对薄膜的晶体结构、表面形貌和光电性能的影响。结果表明：ITO：Ti薄膜呈现（400）择优取向,随薄膜厚度增加,薄膜的结晶程度增强,晶粒度增大,薄膜更致密。随薄膜厚度增加,薄膜的均方根粗糙度和平均粗糙度以及电阻率都先减小再增加,薄膜厚度为250 nm时,表面粗糙度最小,蒋膜厚度为200 nm时,电
其他文献
作为MEMS传感器中重要的一种传感器,触觉传感器能够探测到周围环境中极其细小的变化,并且能够反映物体接触力的大小。现今,随着MEMS技术的飞速发展,基于MEMS技术的柔性传感器
在数字技术迅猛发展的21世纪,数字手段逐渐被应用于首饰创作之中,成为艺术首饰乃至整个手工艺领域一个重要现象。本文通过案例研究,从技术应用与艺术思维两个层面,介绍了二维
<正>在福建泉州,杜志阳算是一位小有名气的洞箫制作师。通常人们不叫他名字,只称呼他阿杜。福建泉州是南音之乡,而洞箫是南音中的主奏乐器。无论在城市还是乡村,到处都可以听
目的探析肥胖与社区人群血压、血糖的关系。方法从社区卫生服务中心择取169名社区居民进行调查研究,对所选研究对象的体质量、血压、血糖进行分别测定,分析肥胖与血压、血糖
文中主要介绍直管压力平衡型波纹补偿器和碟簧压力平衡型波纹补偿器的结构、制造、检验及在GIS系统高压组合电器上的应用。通过介绍,使设计人员、现场应用人员对高压组合电器
传染性滑膜炎的病原体系滑液囊支原体，可使发病鸡胸部滑膜囊，关节肿大发炎、站立困难、食欲下降、消瘦，从而使产能下降。近几年发病呈增多趋势，由于本病的发生主要是通过垂直传播
2003年，富阳市龙井茶的产量、产值分别达1239．5t(包括旗枪)、7420．3万元，是全市茶叶总产量、总产值的55．5％、92．5％。但是，龙井茶炒制技术至今仍停留在人工作业上，尤其是近几年来，随着农
目的 调查分析影响患者俯卧位舒适程度的主要因素,为采取完善的护理措施提供科学依据.方法 选取行玻璃体切除联合硅油填充术的复杂性视网膜脱离患者100例,卧位时间均持续在7d
随着新型武器装备的发展,计量保障技术得到了快速发展。文章概述了火工品计量保障所面临的形势与任务,国内外火工品计量发展现状与趋势以及计量保障主要需求,阐明了火工品计
集群竞争优势与其所处的产业集聚及知识融合的区域环境休戚相关,系统分析集群企业聚合环境属性对于制定有效的时空战略至关重要。但相关研究成果分散于不同学科之中,依据其中