【摘 要】
：
采用阳极氧化法在Al膜上制备具有绝缘性能的壁垒型Al2O3膜,研究不同成分比例的电解液、阳极氧化电压对壁垒型Al2O3膜性能的影响.利用能量分散谱和扫描电镜观测壁垒型Al2O3膜
【机 构】
：
福州大学物理与信息工程学院 福州 350002电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054;
论文部分内容阅读
采用阳极氧化法在Al膜上制备具有绝缘性能的壁垒型Al2O3膜,研究不同成分比例的电解液、阳极氧化电压对壁垒型Al2O3膜性能的影响.利用能量分散谱和扫描电镜观测壁垒型Al2O3膜的元素组成、表面形貌及厚度,并对其绝缘耐压性进行了测试.结果表明,所制备的Al2O3膜厚度均为纳米量级,在95％乙二醇,1.9％癸二酸铵,3.1％硼酸的电解液中,以300V恒定电压制备的壁垒型Al2O3膜拥有很好的绝缘性能,击穿场强可达5.25 Mv/cm.
其他文献
针对国产压力过滤机在生产运行过程中出现的问题进行分析研究,并结合进口设备的先进经验,采取相应的改进措施,使压力过滤机的整体性能得到提升。
According to the analysis
报道一种基于CdSe量子点/聚乙烯基咔唑有机无机复合电双稳器件,通过对量子点浓度的控制使器件在室温下可以通过正向偏压和负向偏压脉冲激励下实现高阻态与低阻态的相互转变,
造成家用空调气缩机电磁音的原因有八十余种,从类别上划分主要有设计与加工工艺两大主线.在轴系受气变形设计方面,表现在电磁拉气大与轴系刚性差两个方面.而定子和转子时隙不
陈兆水,原杜桥镇常务副镇长,年龄到点,现退下来,担任了杜桥眼镜商城总经理,同时任杜桥眼镜协会会长.陈兆水虽然没有亲手做过一副眼镜,但和眼镜的缘分相当深厚,以前在政府担任
2001年度中国名牌产品在千呼万唤声中已经撩开了它们神秘的面纱,45家企业生产的57个产品荣获了有效期为3年的中国名牌产品证书.
广州海事局:rn百名执法人员现场盯守,确保清明群众出行安全rn清明节天刚刚亮,广州南沙海事处的执法人员一大早就赶到辖区水牛头渡口,提醒渡工务必注意安全航行,并协调过往船
研究了沙棘插穗长度、剪切方式、生长调节剂的应用对扦插成活率的影响。结果表明:以15 cm段为最佳硬枝扦插插穗剪切型式;以留3~4片叶、15 cm梢为最佳嫩枝扦插插穗剪切型式,同
2012年,郑州市在省委、省政府的坚强领导下,在省住房和城乡建设厅的关心指导下,按照“全国找坐标、中部求超越、河南挑大梁”的工作站位,以推进交通道路、生态廊道、四类社区