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期刊论文
红外厚度传感器的设计
红外厚度传感器的设计
来源 :传感器技术 | 被引量 : 8次 | 上传用户:yingluoyuchen
【摘 要】
:
论述了适合于测量含(CH、CH_2、CH_3)基团薄膜厚度的红外传感器的设计原理、结构和参数选择。研究了时间差、充填物质、干涉条纹的影响。给出了克服这些影响的设计方法。
【作 者】
:
张鸣华
【机 构】
:
浙江工学院
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
1992年05期
【关键词】
:
红外
厚度测量
传感器
Infrared Thickness measurement Precision
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论述了适合于测量含(CH、CH_2、CH_3)基团薄膜厚度的红外传感器的设计原理、结构和参数选择。研究了时间差、充填物质、干涉条纹的影响。给出了克服这些影响的设计方法。
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