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新型高频VDMOS功率器件的研究
新型高频VDMOS功率器件的研究
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chaorenwangzi
【摘 要】
:
作者采用一种新方法设计了可在高压下工作的高频VDMOS器件,该器件具有二级场板终端结构。通过在工艺上利用多晶硅选择氧化形成漏表面厚氧化层,不仅可以有效地减小Cgd,而且可
【作 者】
:
秦祖新
刘三清
应建华
【机 构】
:
华中理工大学; 华中理工大学 武汉; 武汉; 武汉;
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
1991年05期
【关键词】
:
VDMOS
高频器件
自对准工艺
终端结构
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作者采用一种新方法设计了可在高压下工作的高频VDMOS器件,该器件具有二级场板终端结构。通过在工艺上利用多晶硅选择氧化形成漏表面厚氧化层,不仅可以有效地减小C
gd
,而且可以减小C
gs
。该方法简化了器件制作工艺并实现了自对准扩散。
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