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本文介绍了恒功率型和恒温差型半导体热式流速／流量传感器的工作原理及其分别用于液体和气体的测量结果，传感器具有灵敏度高，结构简单，成本低的特点，有很大的实用价值，对于气流传感器，测量速度可高达５０ｍ／ｓ，对它作进一步改进速度可测得更高，可用于高速火车的气流测量。
半导体热式流速／流量传感器
【摘 要】
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本文介绍了恒功率型和恒温差型半导体热式流速／流量传感器的工作原理及其分别用于液体和气体的测量结果，传感器具有灵敏度高，结构简单，成本低的特点，有很大的实用价值，对于气流传感
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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中国铁道科学
【发表日期】
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1995年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金,清华大学科学研究基金
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