宽带增透膜工艺的优化与性能分析

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为满足望远镜等光学系统中光学元件可见光范围宽光谱增透的要求,根据Tfcale软件优化设计膜系,使用离子辅助沉积,晶振膜厚控制仪,电子束热蒸发镀膜方法,通过对镀膜工艺参数的不断改进和调整,制备了400~700nm的宽带增透膜。结果表明:所制作的可见光增透膜平均反射率达到0.36%,优于望远镜等光学系统的增透要求。
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