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Stanford Nanofabrication Facility(SNF)1是一个面向学术界、工业界和政府的研究人员开放的实验室,拥有最尖端并可共享的设备(图1)。该超净间的面积为10,500平方英尺,坐落于斯坦福大学校内,注册的实验室成员超过600人,所研究的技术涉及MEMS、光学、生物学、化学以及传统的电子器件制造和工艺表征。在这一环境中,