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本文研究了种用ＺｒＯ２，ＳｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５和Ｐ２Ｏ５为原料的半导陶瓷湿度传感器，它的组分是用扫描电子显微镜，Ｘ射线衍射仪和Ｘ射线能谱仪进行分析，几种氧化物粉末在高温下烧结成由许多微小晶粒组成的多孔半导陶瓷，晶粒周围环绕着Ｎｂ０．２Ｚｒ０．８Ｏ２．１，ＺｒＮｂ１４Ｏ３２，ＺｒＰ２Ｏ７以及Ｎｂ４４Ｐ２Ｏ１１５复合物，这些固液体能够降低晶粒之间的电阻，大气不分子的吸附和毛细凝聚进一步加强了传感器电导。