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科技进步日新月异，信息产业发展迅猛，微电子行业成为21世纪人们关注的焦点，微电子技术是通过光刻、薄膜、真空、离子注入等微细加工工艺把整个电子系统集成在同一块半导体芯片或基片上，使微电子元器件和电子设备尺寸显著减少的微型化技术，以微电子设备为代表的电子专用设备是信息产业发展的坚实基础。
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【摘 要】
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科技进步日新月异，信息产业发展迅猛，微电子行业成为21世纪人们关注的焦点，微电子技术是通过光刻、薄膜、真空、离子注入等微细加工工艺把整个电子系统集成在同一块半导体芯片或
【出 处】
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中国建设动态：阳光能源
【发表日期】
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2009年5期
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