论文部分内容阅读
<正>目前,大多数硅压阻传感器（PRT）用于压力测量,它们通过应用广泛的微型加工技术进行组装,通常采用4个电阻桥臂构成典型的惠斯通电桥,安装在单芯片。与集成电路类似,由于单个晶片中包含成百上千个传感元件,传感器价格便宜。到目前为止,大多数集成传感器主要用于低精度或中等精度要求的场合,比如汽车、消费电子产品和部分工业应用。