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论述了MOCVD反应器的基本概念和国内外对反应器中输运现象的研究情况,重点论述了垂直喷淋式MOCVD反应器的研究,并指出了当前研究中存在的问题,展望了未来的研究发展趋势。
MOCVD反应器输运过程的研究综述与展望
【摘 要】
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论述了MOCVD反应器的基本概念和国内外对反应器中输运现象的研究情况,重点论述了垂直喷淋式MOCVD反应器的研究,并指出了当前研究中存在的问题,展望了未来的研究发展趋势。
【机 构】
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江苏大学能源与动力工程学院,江苏大学工业设计系
【出 处】
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装备制造技术
【发表日期】
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2007年10期
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