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大模数齿轮铣刀刃形CAD/CAM中需要对刃形进行检测,保证渐开线刃形的准确。在铣刀刃形检测系统的运动控制中采用CNC技术控制测头/工作台沿理论刃形的加工轨迹运动;使传感器的量程减小,基本消除了传感器的量程和非线性误差提高了A/D转换的分辨率,从而保证了检测精度。论述了刀齿的理论模型和测头轨迹的计算及系统软/硬件的结构;阐述了软件编程和调用DLL进行I/O操作的思想。由于采用CNC技术控制测头运动,大大地提高了检测精度使系统的分辨率达到0.5μm。