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通过研究工艺试验中的表面粗糙度和去除量随时间变化的关系，以及切屑微粒的形貌的提取分析，证明电解机械复合抛光的效率高于纯机械抛光和纯电解抛光，而且在其他工艺条件相同时可以获得更低的极限表面粗糙度值，但是在获得同样表面粗糙度时，复合加工单位面积去除的材料更多。切屑和加工后表面形态显示电解作用主要在工件表面的凸起棱边上，这正是复合加工较机械加工的优势所在。