【摘 要】
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基于针尖和样品之间的各种相互作用力,原子力显微镜（AFM）可用于样品表面形貌、摩擦力等各种物理特性的研究,它是纳米科技研究中一个重要工具.影响AFM测量图像质量的因素很多,如
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基于针尖和样品之间的各种相互作用力,原子力显微镜（AFM）可用于样品表面形貌、摩擦力等各种物理特性的研究,它是纳米科技研究中一个重要工具.影响AFM测量图像质量的因素很多,如振幅参数、积分增益I、比例增益P、衰减增益和扫描速度等,而探针同样是提高样品表面形貌像成像质量的关键.通过采用控制变量法,并以均方根粗糙度Rq作为评判标准,用不同参数的探针测量同一样品.实验结果表明,探针的共振频率f、弹性系数k、曲率半径Rh等对测量样品粗糙度均有较大影响,可选择合适的探针,提高成像质量.同时,针对仪器使用中出现的一些
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