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本文提出一种改进型的单狭缝刻线瞄准方法,通过计算刻线信号重心坐标平均值,确定刻线中心位置,实验结果表明因刻线信号形状不规则引起的误差小于4nm;通过简化算法将计算时间缩短到1s以内,实现了测量数据的实时处理.
激光干涉比长仪的瞄准方法
【摘 要】
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本文提出一种改进型的单狭缝刻线瞄准方法,通过计算刻线信号重心坐标平均值,确定刻线中心位置,实验结果表明因刻线信号形状不规则引起的误差小于4nm;通过简化算法将计算时间
【机 构】
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浙江省计量科学研究院,杭州,310012中国计量科学研究院,北京,100029;
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2016年12期
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