【摘 要】
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太阳能级硅片在金刚线切割和打磨过程中会受到严重污染，需要采用物理或化学方法去除其表面的污染物，以满足硅片制绒前对洁净度和表面状态的要求。为了减少对硅片的过度腐蚀并保持清洗液的持久性，通过正交试验法进行实验，确定硅片清洗液中表面活性剂成分的最佳配比。结果显示：1)表面活性剂最佳配比为环氧丙烷（PO）嵌段的脂肪酸甲酯乙氧基化物（FMEE）:无磷乙二胺二邻苯基乙酸钠（EDDHA-Na）:FMEE的磺酸盐
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太阳能级硅片在金刚线切割和打磨过程中会受到严重污染，需要采用物理或化学方法去除其表面的污染物，以满足硅片制绒前对洁净度和表面状态的要求。为了减少对硅片的过度腐蚀并保持清洗液的持久性，通过正交试验法进行实验，确定硅片清洗液中表面活性剂成分的最佳配比。结果显示：1)表面活性剂最佳配比为环氧丙烷（PO）嵌段的脂肪酸甲酯乙氧基化物（FMEE）:无磷乙二胺二邻苯基乙酸钠（EDDHA-Na）:FMEE的磺酸盐（FMES）:伯烷基磺酸钠（PAS）:烷基糖苷（APG）=7:8:3:5:4;2)按照最佳配比配置的硅片清洗液无磷、环保，且清洗性能持续时间久，应用于实际的硅片清洗工艺后硅片的不良率小于0.5%，符合工厂实际生产要求。
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