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用电子束蒸发的方法制备了ＺｒＯ＿２、ＴｉＯ＿２及其按不同配比混合和掺杂的各种薄膜。对薄膜的结构和氧敏特性进行了研究，同时还研究了预烧结、掺杂等对薄膜氧敏特性的影响。实验表明，薄膜对氧气有良好的选择性和灵敏度
薄膜氧敏材料的特性研究
【摘 要】
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用电子束蒸发的方法制备了ＺｒＯ＿２、ＴｉＯ＿２及其按不同配比混合和掺杂的各种薄膜。对薄膜的结构和氧敏特性进行了研究，同时还研究了预烧结、掺杂等对薄膜氧敏特性的影响。实验表明，薄膜对氧气
【机 构】
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内蒙古大学物理学系
【出 处】
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内蒙古大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1994年5期
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