【摘 要】
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由于军事和商业应用的巨大潜力，红外成像技术至今仍是研究热点之一。针对本课题组提出的基于MEMS和光学读出的新型非制冷红外成像技术，本文一方面通过有限元仿真分析，详细讨论了
【机 构】
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中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,中国科学院北京微电子研究所
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由于军事和商业应用的巨大潜力，红外成像技术至今仍是研究热点之一。针对本课题组提出的基于MEMS和光学读出的新型非制冷红外成像技术，本文一方面通过有限元仿真分析，详细讨论了新型无基底双材料微梁阵列FPA的热转换效率和热变形效率，另一方面通过光学理论分析，详细讨论了光学读出系统在极限操作下的光学测量灵敏度。理论和仿真分析显示，课题组提出的非制冷红外成像技术的NETD的理论极限与当前制冷型红外成像技术的典型指标相当，约为4mK。同时，本文对设计制作的FPA，在构建的系统上进行了红外实时成像实验和理j论仿真分析，
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