溶胶-凝胶法制备的Pt/Bi_（3.15）Nd_（0.85）Ti_3O_（12）/SrTiO_3/Si电容结构及其性能研究

来源 :现代应用物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qingqing20090756

【摘要】

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采用溶胶-凝胶法制备了Pt/Bi3.15Nd0.85Ti3O12/SrTiO3/Si多层电容即金属-铁电层-绝缘层-半导体结构,并对其电学性能进行了测试与分析。获得的存储窗口电压约为2.5V,漏电流密

【作者】

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郭纯维马颖燕少安周益春

【机构】

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湘潭大学材料科学与工程学院,湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室

【出处】

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现代应用物理

【发表日期】

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2014年4期

【关键词】

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溶胶-凝胶法金属-铁电层-绝缘层-半导体结构钛酸锶薄膜钛酸铋钕薄膜存储窗口 sol-gel method MFIS SrTiO3 thin film

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采用溶胶-凝胶法制备了Pt/Bi3.15Nd0.85Ti3O12/SrTiO3/Si多层电容即金属-铁电层-绝缘层-半导体结构,并对其电学性能进行了测试与分析。获得的存储窗口电压约为2.5V,漏电流密度低于10-8 A·cm-2,保持时间达7.5h以上。制备的SrTiO3薄膜表现出较高的介电性和较好的绝缘性。

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