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根据陶瓷量块的特性,分析了陶瓷量块长度测量的方法以及测量过程中需注意的问题;通过实验确定了采用柯氏干涉仪测量陶瓷量块长度时由于位相跳跃和研合厚度差异引起的测量误差的修正量。
陶瓷量块长度的测量方法探讨
【摘 要】
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根据陶瓷量块的特性,分析了陶瓷量块长度测量的方法以及测量过程中需注意的问题;通过实验确定了采用柯氏干涉仪测量陶瓷量块长度时由于位相跳跃和研合厚度差异引起的测量误差
【机 构】
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中国一航北京长城计量测试技术研究所
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2008年1期
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