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质谱分析中高压强气体的线性微量取样
质谱分析中高压强气体的线性微量取样
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jianyi8999
【摘 要】
:
报道一种质谱分析用的新型高压强气体取样阀。该阀采用多孔漏孔对高压强气体进行分子流微量取样;可以对133-1.013×10^5Pa压强的气体进行线性取样。对于1.013×10^5Pa氮气的取样量为8×10^-3PaL/s。
【作 者】
:
李军建
王欲知
【机 构】
:
电子科技大学光电子技术系,西南交通大学物理系
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
取样
高压强气体
质谱分析
真空测试
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报道一种质谱分析用的新型高压强气体取样阀。该阀采用多孔漏孔对高压强气体进行分子流微量取样;可以对133-1.013×10^5Pa压强的气体进行线性取样。对于1.013×10^5Pa氮气的取样量为8×10^-3PaL/s。
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