Hexagonal Nano-Crystalline BCN Films Grown on Si (100) Substrate Studied by X-Ray Absorption Spectro

来源 :材料科学与应用期刊(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangtianmei02
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Hexagonal nano-crystalline boron carbonitride (h-BCN) films grown on Si (100) substrate have been precisely investigated. The films were synthesized by radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition using tris-dimethylamino borane as a single-s
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